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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:半導(dǎo)體封裝材料--高真空退火爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):Huace800G\1200G\1450G
  • 產(chǎn)品廠商:華測
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
目前高溫退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐,原理為加熱絲或硅碳棒對(duì)爐體加熱,加熱與降溫速度慢,效率低下,也無法實(shí)現(xiàn)溫度的高精度測量,加熱區(qū)域也存在不均勻的現(xiàn)象,華測儀器通過多年研究開發(fā)了一種可實(shí)現(xiàn)高精度,高反射率的拋物面與高質(zhì)量的加熱源相配置,高真空退火爐在高速加熱高速冷卻時(shí),具有良好的溫度分布。可實(shí)現(xiàn)寬域均熱區(qū),高速加熱、高速冷卻,用石英管保護(hù)加熱式樣,無氣氛污染??稍诟哒婵眨叱黾兌葰怏w中加熱。
詳情介紹:




高真空退火爐


一、高溫退火爐產(chǎn)品介紹

  目前高溫退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐,原理為加熱絲或硅碳棒對(duì)爐體加熱,加熱與降溫速度慢,效率低下,也無法實(shí)現(xiàn)溫度的高精度測量,加熱區(qū)域也存在不均勻的現(xiàn)象,華測儀器通過多年研究開發(fā)了一種可實(shí)現(xiàn)高精度,高反射率的拋物面與高質(zhì)量的加熱源相配置,在高速加熱高速冷卻時(shí),具有良好的溫度分布??蓪?shí)現(xiàn)寬域均熱區(qū),高速加熱、高速冷卻,用石英管保護(hù)加熱式樣,無氣氛污染??稍诟哒婵?,高出純度氣體中加熱。設(shè)備可組成均熱高速加熱爐,溫度斜率爐,階段加熱爐。

  它提高了加熱試驗(yàn)?zāi)芰?同電阻爐和其他爐相比,紅外線反射退火爐節(jié)省了升溫時(shí)間和保持時(shí)間及自然冷卻到室溫所需時(shí)間,再試驗(yàn)中也可改寫設(shè)定溫度值。節(jié)省時(shí)間并提高實(shí)驗(yàn)速度。

  同高頻爐相比,不需特殊的安裝條件及對(duì)加熱試樣的要求。同電阻爐一樣安裝簡單,有冷卻系統(tǒng)an全可靠。以提高試驗(yàn)人員的工作效率,實(shí)現(xiàn)溫度控制操作!



二、高溫退火爐設(shè)備優(yōu)勢

   1、高速加熱與冷卻方式

高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時(shí)爐體可配置水冷系統(tǒng),增設(shè)氣體冷卻裝置,可實(shí)現(xiàn)快速冷卻。

   2、溫度高精度控制

過紅外鍍金聚焦?fàn)t和溫度控制器的組合使用,可以控制樣品的溫度。此外,冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。

   3、不同環(huán)境下的加熱與冷卻

加熱/冷卻可用真空、氣氛環(huán)境、低溫(高純度惰性氣體靜態(tài)或流動(dòng)),操作簡單,使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。

   4、反射爐溫度控制裝置

高速升溫時(shí),配套的快速反應(yīng)的高真空退火爐控制裝置,本控制裝置采用可編程溫度控制器。高性能設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快。

 

可選配

干泵:抽速≥120L/min,極限真空度≤4pa,噪音小于52db;

全量程真空規(guī):刀口法蘭接口,真空測量范圍5X10-7Pa到1atm


為了高速加熱、設(shè)備采用PID溫度控制,同時(shí)采用移相觸發(fā)技術(shù)保證試驗(yàn)溫度。

    根據(jù)設(shè)備上的溫度控制器輸入?yún)?shù),您也可以簡單輸入溫度程序設(shè)定和外部信號(hào)。另外還可以在電腦上顯示熱中的溫度數(shù)據(jù)。

    自適應(yīng)熱電偶包括JIS、K、J、T、E、N、R、S、B、以及L、U、W型

    可設(shè)定32個(gè)程序、256個(gè)步驟的程序。

    30A、60A、120A內(nèi)置了SCR電路,所以范圍很廣。


設(shè)備配置

序號(hào) 項(xiàng)目 數(shù)量 品牌 備注
1 爐體 1 華測 溫度至1200℃
2 加熱源 1 GE
3 溫度控制器 1 華測
4 電熱偶 1 omega
5 溫控表 1 歐姆龍
6 穩(wěn)壓電源 1 華測 可定制
7 制冷水機(jī) 1 同飛 制冷功率
8 分子泵 1 萊寶 CF法蘭,抽速≥40L/s,極限真空度優(yōu)于-0.8Mpa;



更多應(yīng)用

1.電子材料

半導(dǎo)體用硅化合化的PRA(加熱后急速冷卻)

熱源薄膜形成·激活離子注入后硅化物的形成

2.陶瓷與無機(jī)材料

陶瓷基板退火爐

玻璃基板退火爐。

陶瓷張力、撓曲試驗(yàn)退火爐。

3.鋼鐵和金屬材料

薄鋼板加熱過程的數(shù)值模擬。

爐焊接模擬

高真空熱處理(1000℃以下)

大氣氣體熔化過程

壓力下耐火鋼和合金的熱循環(huán)試驗(yàn)爐

4.復(fù)合材料

耐熱性評(píng)價(jià)爐

無機(jī)復(fù)合材料熱循環(huán)試驗(yàn)爐

5.其它

高溫拉伸壓縮試驗(yàn)爐。

分段分區(qū)控制爐

溫度梯度爐

爐氣分析

超導(dǎo)陶瓷退火爐


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